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第八十六章 质疑剽窃

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李皓深谙打人要打脸的道理,只可惜这回他们似乎是没脸来,重新又换了一批人。

虽然依旧那般的傲慢,年纪也是一般的大,但总归是差了点感觉。

正当李皓都不想搭理他们的时候,他们却又主动上门来找虐。

因为在光刻机研究卡壳在193nm的这些年里,日本和阿斯麦公司选择了不同的路线。

日本人坚持以往思路,继续迭代技术,去研发新的光源,坚持在传统干式微影技术上一条路走到底。

而阿斯麦则因为加入了美国牵头的EUV联盟,就主张使用极紫外技术生产设备。

从后面的发展情况来看,EUV技术无疑更先进,日本在选择传统派阵营时,其实就已经输了。

但事实上,日本人也并非不愿意尝试极紫外光技术,而是被美国别有用心的排除在了门外。

毕竟即使它们再怎么愿意当儿子,也架不住人家的忌惮。

就像是之前的广岛协议一般,美国是不会允许有人来实际威胁他们的地位的,即使是干儿子也不行。

只不过在现如今的阶段,因为技术储备的原因,双方暂时都没有达成目标。

不过相比于极紫外光技术依旧存在的很多技术难关,日本人这里的157nm F2激光的研发却已经有了实质性进展。

所以在这个时候,对于中国人弄出来的浸润式光刻机,就让他们极为排斥。

因为它们能从现有公布出来的数据中看出来,浸润式光刻机的后续开发空间巨大。

只需要调整光刻胶上面的液体密度,就能将193nm的光波长折射成需要的精度。

而且最重要的一点,这种浸入式方案属于小改进大效果,有着以往的产品经验,稳定性和开发速度必然都不是它们的新产品能比的。

要知道它们为此可是投入了重资,一旦先机被抢走了,那投进去的钱不就全打了水漂。

反观阿斯麦这里,见到了这台光刻机之后,反应也是非常强烈。

随即就找到了林奔坚询问情况,原来就在今年的早些时候,他们就已经和林奔坚取得了联系,并最终同意了对林奔坚给的浸润式方案进行实验。

结果他们这还在实验中的方案,现在却见这里已经拿出了成品,当然就想要问清楚。

林奔坚对此也是一头雾水,好在他脑子里面还有理智,没有选择直接跳出来。

而是在徐教授发完言下台后,赶忙就带着阿斯麦的人,找到了徐教授。

“徐教授,我想请问你们这个浸润式方案是从哪里来的?”

徐教授之前听李皓提起过这位,也听过他的一些研究方向。

所以对于他的质问,并没有太过意外:“这个自然是我们基于浸没式光刻技术,自行研发出来的成果,有什么问题吗?”

浸没式光刻起源于浸润式显微镜,是由一个意大利科学家在1855年发明的。

相对于光刻机是将图案缩小投影到光刻胶上,这个显微镜的功能则是将图案放大到ccd探测器上。

虽然是两个不同的领域,但根本的原理却是相通的,所以徐教授这么说也没问题。

可是架不住林奔坚不信啊,质疑道:“真的是这样吗?我记得之前,曾经有一位大陆人接触过我,希望我能加入到国内的实验室工作。

虽然当时他并没有说哪家实验室,但看现在情况,他应该和您是一起的吧。

您可能还不知道,我已经和阿斯麦公司达成了合作,也正在研究浸没式光刻机。”

听到这话,徐教授也是不由皱起了眉头:“所以你是怀疑,我们偷取了你的研究成果?这简直就是个笑话。

就不说浸没式的概念,早在上个世纪就有人提出过,就算是有关光刻机的具体理论,也是在1980年,由列支敦士登公国的w.tabarelli和E.w.Lobach提出。

并且还在美国申请了专利,这个和你好像也没什么关系吧,所以你指的偷取成果是从何而来。”

这话堵得正中核心,毕竟老美自己的专利认可,它们总不能来自打嘴巴。

徐教授这里聚集了一堆人,也让在后面关注的李皓注意到了。

于是便走了过来,询问发生了什么事情。

徐教授不客气的说道:“这位是台岛的林奔坚教授,刚刚质疑我们剽窃成果。”

“林教授,之前你虽然没有接受邀请,但谈的也算是愉快,不用这么有敌意吧。”

听到李皓就这么承认了这件事,林奔坚心里就更坐实了自己的想法。

不过他也是认识李皓的,毕竟之前他在美国工作了二十几年,怎么会不知道李皓这么个风云人物。

当着李皓的面,纵使他心里有不满,也得收敛起来。

“我只是合理怀疑而已,毕竟贵公司曾经和我接触过,而我之前就是在做关于这方面的研究。”

李皓笑道:“那你可能是误会了,有关浸没式光刻机的专利授权,我们已经从w.tabarelli和E.w.Lobach手中获取到了。

而且徐教授团队,早在97年得时候,就已经开始了浸没式光刻机得实验,并且一直都有成果出来。

如果你不信的话,我可以给你一份专利申请的时间表,这个总是做不了假的。

所以我们邀请你,是因为认可你对技术方向的判断力,觉得符合我们的要求,仅此而已。”

这话说的他脸上一阵白、一阵红的,明显是被这话刺痛了,觉得被讽刺有些自作多情。

两人的对话,都被翻译一字不落的传进了阿斯麦的人耳中。

他们没想到这事会是这么个结果,尤其是在听说已经注册了专利的时候,他们就更有些紧张。

毕竟这不仅意味着,他们前面的研究,会不会就此打水漂。

更重要的一点,是他们早就将浸没式光刻机技术,视为打败日本光刻机的一件利器,可不想要就此错失。

当即就忍不住问道:“在决定与林先生合作,共同开发浸没式光刻机的时候,我们曾经查询过相应的专利许可,似乎并没有发现您刚刚所说的。”

这话让林奔坚也活了过来,也向李皓投来了质疑的目光,感觉像是抓到了什么把柄。

“这不可能,我们从98年开始,我们就已经陆续开始申请专利,是不是你们漏查了。”

阿斯麦的人看着李皓一脸的肯定,实在不像是说假话,也开始自我怀疑起来。

倒是林奔坚好不容易抓住了这个机会,不想要这么放弃。

毕竟如果这一切都是真的,也就意味着这次和阿斯麦的合作,就彻底失败了。

要知道这可是他回到台岛,就一力推动的大项目,要是就这么失败,那他的前途多少有些堪忧。

“不光是他们,我也查询过相应的成果,也没有任何记录,所以……”

说完就死盯着李皓,希望能从李皓脸上,发现什么端倪。

但李皓说的都是真的,又怎么可能有反应。

不过为了能配合一下,李皓还是装出了一副恍然大悟,似乎想到了什么的样子。

“我想起来,你们在查询的时候,是不是没有查询中国的专利库信息?我们最开始申请的时候,是在大陆的专利局。

不过中国早在94年,就已经加入到了专利合作条约中,同样也是受到保护的。”

这话一出,林奔坚脸瞬间就黑成了一块炭,因为他还真的没有查过。

毕竟在他们眼里,中国根本就没有开发光刻机的能力,所以完全就没往这方面想。

这下验证成功之后,林奔坚就算再无奈,也只能承认自己的失败。

只是现在也没人愿意管他,阿斯麦的人如今更想和李皓合作,得到开发浸没式光刻机的通行证。

对此李皓自然不可能这么简单的答应,毕竟以阿斯麦公司的实力,一旦真的投入进来,进展肯定比徐教授他们快。

对于李皓而言,现阶段最好的结果,就是限制住阿斯麦的发展。

虽然李皓更讨厌日本,但是他们的技术路线,从一开始就走错了。

就算后面意识到问题,再想掉头也是需要时间的,而中国光刻机研究最需要的就是时间。

而且李皓还不用担心日本会一直做大,它的老爹会想办法拖后腿的。

所以就给了一个摸棱两可的答案,约定了下次见面的时候,反正先吊着阿斯麦的人再说。

等把人给送走,李皓转身也就准备要离开了。

结果刚走出展馆,就被徐教授从后面追了上来。

看着气喘吁吁的徐教授,李皓赶紧上前扶道:“您老慢点,身体要紧!这是又发生了什么事情吗?”

徐教授缓了缓气,说道:“没有,没发生什么事,我追过来只是想问你,是不是打算跟阿斯麦合作?”

李皓闻言先望了望周围,这场馆门口人也不少,不是个合适谈事的地方。

就说道:“这事先不急着谈,您还是先回去,把这场发布会给顺利结束,其他人我没这么放心。

等明天您再到公司去,咱们坐下来慢慢的把这事聊好。”

听到李皓的话,徐教授也没再多留,转身就回到了场馆里面。

这场发布会的意义,相比于上次的要更重大一些,因为这是中国在一个科技尖端领域,达到了世界最先进的水平。

尤其是其中这个最字,那可是货真价实。

所以当晚,秧视新闻里面燧人制造的名字,再一次被反复提及。

甚至李皓还接到了老学长打来的祝贺电话,并表示希望看到再创新高,引领世界的那一天。

对此,李皓自然是顺着话说,可是在李皓心里却明白,这事就算是可以,那也只是短期内的。

毕竟在技术积累上,纵使有李皓这些年的努力,可双方却依旧差了太多。

浸润式光刻方案难度不大,纵使李皓有心设置阻碍,也拦不住阿斯麦太久。

更别说后续EUV(极紫外)光学系统,阿斯麦已经有了一系列成果,而中国才刚刚开始研究。

不过有志者事竟成,李皓依旧对于未来抱有信心。

毕竟在原先那么困难的情况下,中国依旧在光刻机和芯片制造领域,创造了那么多成绩。

现在有了李皓搭出的基础,中国的光刻机迟早能引领世界,同时促进芯片研究制造的快速发展。

一晚上的休息,第二天李皓就来到了公司,没成想徐教授却早早的就等在了这里。

“您怎么来的这么早,昨晚没休息好。”

徐教授摆了摆手,回道:“人逢喜事精神爽,我这些天精神好得不得了,也不用睡多长时间。”

“那可不行,您当自己还是年轻小伙,这该有的休息时间,必须要保证。

您可是咱们实验室的中流砥柱,昨天我那位老学长,打电话过来对咱们表示祝贺,还专门提起了您。

我说了您肯定会把国产光刻机做到世界第一,所以身体可不能出问题。”

徐教授一听这话,没好气道:“你这还帮我做起了承诺来,这事是好办的。”

李皓笑道:“就是难办,才需要您老啊,毕竟您是谁啊。”

徐教授看着李皓这无赖样,白了一眼:“好了,不说这些,还是说说有关阿斯麦公司的事?”

李皓也正经起来,问道:“您关于这件事是怎么想的?”

“我不建议和他们合作,要知道他们从84年开始,已经批量研发生产了多种型号的光刻机,其中不乏优秀产品。

而我们现如今才刚刚能量产第一款产品,两家企业在生产效率和技术研发上,根本就不在一个档次。

不是我涨他人志气灭自己威风,同台竞争,我们根本就没有获胜的希望。”

李皓点了点头:“在这点上,我和您的看法保持一致,我们起步的时间还是晚了,中间又因为种种事情,而耽误了技术研发。

要想赶上他们,确实是需要时间来弥补差距的。

不过直接拒绝也不行,最好是要给他们一些希望,来一个欲拒还迎,只有这样才能尽可能拖住他们。

避免他们尽早发现不对,从而来调转方向。”

看到李皓这么说,徐教授也就放心下来。

“那这事还是你来安排,毕竟算计人的手段,还是你最擅长,我们会全力来配合。”

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